近日，A股市场光刻机板块表现活跃，波长光电、凯美特气、苏大维格等个股领涨。在人工智能浪潮和半导体国产化双重驱动下，这个细分领域正成为资本市场的重点关注对象。
9月17日，A股光刻机概念股集体走强。波长光电涨停，涨幅达20%，凯美特气也涨停，苏大维格大涨14.66%，茂莱光学、炬光科技等个股也大幅跟涨。光刻机板块的突然爆发并非偶然，全球半导体产业正迎来新一轮增长周期，2025年二季度全球半导体设备出货金额达到330.7亿美元，同比增长24%。与此同时，人工智能基础设施成为2025年市场上最稳定的赢家之一，英伟达、博通、台积电和美光科技推动了今年芯片指数65%以上的涨幅。
国际半导体产业协会数据显示，全球半导体制造业预计将保持强劲增长势头，预计从2024年底到2028年，产能将以7%的复合年增长率增长，达到每月1110万片晶圆。推动这一增长的关键因素是先进工艺产能（7纳米及以下）的持续扩张，预计将从2024年的每月85万片晶圆增长到2028年的历史新高140万片晶圆，增长约69%。华金证券分析指出，光刻机技术仍是先进制程大规模量产的基石。从产业链角度来看，除了整机外，光学器件、光源、物镜等都是光刻机工作的重要环节。
在美国持续加大对华半导体设备出口管制的背景下，国产光刻机产业正加速崛起。爱建证券表示，在政策支持与国家大基金的持续投入下，国产光刻机产业链已取得进展。2024年全球光刻设备市场规模达295.7亿美元，预计到2029年将增长至378.1亿美元，年复合增长率5.0%。EUV光刻机作为先进制程的核心设备，目前仍由ASML垄断。山西证券指出，2026年底，中国12英寸晶圆厂的总月产能有望从2023年的217万片（规划产能）增长到超过414万片。人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求。
上海微电子是国内唯一能量产前道光刻机的企业，承担着国家“02专项”的重任。2025年其28nm浸没式光刻机将量产交货，国产化率超70%。张江高科通过参股上海微电子，深度参与了国产光刻机整机研发。2025年第二季度，张江高科实现营收4.84亿元，毛利率高达58.68%。茂莱光学为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜。2025年上半年，茂莱光学实现营收3.19亿元，同比增长32.26%；净利润3275.55万元，同比大幅增长110.36%。公司毛利率高达49.65%，同比小幅增长1.98%。作为DUV光刻机镜头核心供应商，茂莱光学供应上海微电子投影物镜系统，单机价值超5000万元。2025年其新增订单同比翻倍，适配28nm制程升级需求。
波长光电是国内精密光学元件主要供应商，在半导体领域已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统已交付多套用于接近式掩膜芯片光刻工序，同时在激光检测方向产品已进入半导体光刻配套检测产业。9月17日，波长光电涨停，最新股价为88.12元。公司光刻机平行光源系统支持65nm以下工艺，2025年产能预计扩至500台/年，覆盖DUV/EUV需求。凯美特气生产的光刻气产品通过ASML子公司Cymer公司审查，并被列入合格供应商名单。产品资质获得国际认可，凸显在半导体特种气体领域的技术实力。9月17日，凯美特气涨停，股价报收18.05元。
苏大维格作为国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，向上海微电子提供了半导体领域投影式光刻机用的定位光栅尺部件，在关键器件领域实现重要突破。2025年第二季度，公司实现营收5.29亿元，毛利率19.33%。
除了上述核心企业外，还有多家A股上市公司在光刻机领域有所布局。福晶科技是全球激光晶体龙头，KBBF晶体良率超90%，产品应用于ASML及国产光刻机光源系统。2025年光刻机镜头收入占比达40%。炬光科技为世界顶级企业提供光刻机用光场匀化器。产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。其EUV曝光系统光场匀化器位居全球第二供应商位置。奥普光电是中科院长春光机所旗下企业，承担EUV物镜系统研发。光刻机曝光系统定位精度达0.1nm，2025年设备订单超10亿元。北方华创虽然不直接生产光刻机，但作为半导体设备平台型领军厂商，2025H1实现营收161.42亿元，同比增长29.51%。公司完成收购芯源微，进一步完善了在光刻工序配套装备方面的布局。
从投资角度看，光刻机产业链值得长期关注。国产替代是核心逻辑，美国持续加大对华半导体设备出口管制，反而为国内企业提供了难得的市场机遇。建议关注光刻机核心零部件供应商，如茂莱光学、英诺激光、苏大维格、芯碁微装等。不过，投资者也需注意相关风险：技术更新风险、市场需求波动风险、供应链风险以及估值风险。随着人工智能和数字经济快速发展，对算力芯片的需求呈现爆发式增长，光刻机作为芯片制造的核心设备，其战略价值日益凸显。到2028年，先进工艺设备的资本支出将激增至超过500亿美元，与2024年投资的260亿美元相比，大幅增长94%。这意味着未来几年，光刻机产业链将迎来巨大的发展机遇。
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